N044 : Etuve à vide pour gamme 10-6 mbar
Température max : 200°C

- Ventouse électromagnetique
- Soubassement aménage, monté sur roulettes
- THS a réarmement supplémentaire
- Joint Viton
- 2 plateaux chauffants
- Compatible salle ISO8
- Pompe primaire sèche + Pompe turbo moléculaire avec contrôleur
- Balise lumineuse 3 couleurs + buzzer
- Cuve Inox304 electro polie
- Réserve air comprimé pour sécurité coupure courant / coupure air comprimé

Système de supervision FE3000 :
Surveillance du produit, sécurité pour empêcher la surchauffe du produit. Acquisition de tous les paramètres : Pressions, température de consigne, mesure plateaux, parois, produits. Rapport d'audit. Interrogeable à distance par réseau.

M346 : Etuve à vide pour gamme 10-6 mbar
Température max : 250°C
Compatibilité salle blanche ISO7.

Cuve inox

- cuve nue sans crémaillères
- électro-polissage
- 2 piquages DN63 CF avec un entraxe de 200mm (+/-50)
- 2 piquages DN50 KF
- 1 piquage DN100 isoK (pompage)
- 1 piquage DN16 KF pour sondes de régulation de température
- 1 piquage DN16 KF pour vanne d’angle de cassage du vide
- étanchéité par joint viton non graissé
- contrôle helium avec rapport
- 2 plateaux aluminium sur entretoises gerbables : 1 niveau à 50 mm de la sole, 1 niveau à 250 mm de la sole

Socle rehausseur

- Socle avec équerre pour supporter le groupe piège/vanne à tiroir/pompe turbo
- 4 roulettes forte charge directionnelles à freins
- intégration de la pompe primaire ACP15 (rehausse de la pompe pour maintenance facilitée)
- pilotage du vide intégré dans la façade du socle (contrôleur turbo + affichage du vide)
- plaque perforée (4 trous Ø 22.5 mm) pour intégration future de boutons (+ une plaque pleine pour propreté)
- isolation phonique des parois du socle
- panneaux de coté avec fermetures quart de tour a fente
- prise 220V 16A à l'arrière commandée par un interrupteur en façade pour le branchement du groupe froid.

Montage du groupe de pompage

- piège froid avec orientation des tuyaux coté grenouillères
- vanne à tiroir après le piège froid (montage actionneur vers le haut)
- bride avec piquage pour jauge de mesure de vide après la vanne à tiroir
- pompe turbo après la bride

Contrôle

- chapeau avec automate (température + vide)
- programmateur de température (4 programmes de 16 segments)
- gestion du vide par automate (liaison avec contrôleur de la pompe turbo)
- mode manuel pour pilotage du contrôleur de la turbo – vanne à tiroir – vanne cassage de vide
- mode manuel protégé par mot de passe (niveau admin)
- 2 sorties 0-10V pour exportation des données de température et de vide

Application : Cuisson de couches sur des quartz produits en UAP

Niveau de vide : 10-6 mbar
Volume : 120 litres
Température max : 400°C
Chauffage parois
2 plateaux chauffants

Cuve inox refroidie par air (2x 100 m³/h)
Bride support joint refroidie par eau
Bride DN160 pour la turbo refroidie par eau

Niveau de vide : 10-6 mbar
Volume : 120 litres
Température max : 200°C
Plateau chauffant
Chauffage parois
Programmateur chauffage

Pompe turbo : 700 l/s Varian
Pompe primaire sèche Triscroll 12 m³/h
Mesure vide primaire : Jauge thermocouple type TC536
Mesure vide secondaire : Jauge BAYARD ALPERT 572